Linear track system: Coater at Developer

Dinisenyo sa 150mm-200mm na laki ng platform wafer

Application na gumagamit ng naka-embed na software na may Graphic User Interface (GUI).

Tampok ang system na may isang generic nerve-networking gamit ang Ethernet.

Ang pagbibigay ng interface ng gumagamit na graphic na nagpapakita ng kasalukuyang katayuan ng buong system.

Ituro ang mode, Calibrations, at Mga Component na pag-eehersisyo

Ang pagbibigay ng pagganap ng proseso hanggang sa proseso ng sub-micron.

Mataas na pagganap at mababang halaga ng pagmamay-ari

Pagandahin at pag-upgrade sa magagamit na panig ng customer