Ang PCT-150 CRS ay ang bagong tool ng Coater at Developer na may access sa Central Random Robot braso at mga module na Stack-up.
Ang kumbinasyon ng PLC controller at PC ay kumukuha ng dalawahang bentahe ng pagiging maaasahan, pagsubaybay at pagpasok ng data sa Touch Screen Monitor at Graphical User Interface (GUI).
May kakayahang umangkop na pagsasaayos (maaaring mabago kapag hiniling), para sa lahat ng uri ng proseso ng litograpya.
PCT-150 CRS
Mga track ng tool ng cluster
Flexible na Mga Daloy ng Proseso
Ang OMRON PLC, Servo Controller system ay dinisenyo na isinama sa mataas na katumpakan
Dual Central Robot Arm na may dalawahang dila (Operational Independence)
Madaling Pagpapanatili
Mataas Sa buong
Nabawasan ang Pagkonsumo ng Kemikal
Vexta Stepper Motor
Platform ng Microsoft Windows OS
Karaniwang Pag-configure:
2 Coater
2 Developer
6 HPO
2 CP
4 Indexer
- Laki ng manipis hanggang sa 150mm
Pagganap ng Paikutin Bilis ng Paikutin:
- COAT Max. 8.000 rpm. Kawastuhan +/- 1 rpm
- Si DEV Max. 8.000 rpm. Kawastuhan +/- 1 rpm
Pagpapabilis:
- COAT Max. 50.000 rpm / sec
- Si DEV Max. 50.000 rpm / sec
Bilang ng mga dispensa COAT:
- Photo-resist hanggang sa 5 mga nozel
- Nangungunang EBR nozel
- Ibabang EBR nguso ng gripo
Bilang ng mga dispensa DEV:
- DEV Liquid hanggang sa 4 na mga nozzles (Dual Spray, Dual Stream)
- Back Side Banlawan nguso ng gripo
- Nangungunang Banlawan nguso ng gripo
- Dev Fluid Temp. kontrol (pagpipilian *)
Dispense na paraan:
- Pressurized Canister / Pump dispense
Mga Recipe ng Proseso:
- Walang limitasyong
- Pag-import / Pag-export ng Recipe
** Ang Central Random Robot Arm ay pinangangasiwaan ng Smart Step Servo at Stepper Motor.
** Spinner na may mataas na torque servo motor (naayos na mounting) ay espesyal na proseso ng sub-micron.
Mataas na Temperatura ng Station ng Proseso ng HPO Temperatura:
- 50.0 ~ 250.0 ° C, Pagkakapareho sa Temperatura <= 0.2 ° C sa 50.0 ~ 120.0 ° C (sa wafer)
Mabilis na Pagbabago ng Temperatura:
- Î ”T: 50 ° C <= 180 sec (Ramp Up / Down).
Paraan ng paghurno:
- Kalapitan
- Makipag-ugnay
Mababang Temperatura ng HPO Process Station Temperatura:
- 50.0 ~ 200.0 ° C, Pagkakapareho sa Temperatura <= 0.4 ° C sa 50.0 ~ 120.0 ° C
Paraan ng paghurno:
- Kalapitan
- Makipag-ugnay
Station ng Proseso ng Chill Plate Temperatura:
- 10.0 ~ 30.0 ° C, Pagkakapareho sa Temperatura <= 0.4 ° C.
Cool na pamamaraan:
- Makipag-ugnay
