PCT-150 CRS 是新的塗佈機和顯影劑工具，具有中央隨機機械臂訪問和模塊堆疊功能。
PLC 控制器和 PC 的組合利用觸摸屏顯示器和圖形用戶界面 (GUI) 實現可靠性、監控和數據輸入的雙重優勢。
配置靈活（可按需更改），適用於各種光刻工藝。
PCT-150 CRS
庫存單位： 364215375135191
$0.00價格
集群工具軌跡
靈活的工藝流程
歐姆龍PLC、伺服控制器系統採用高精度集成設計
雙舌雙中央機械臂（獨立操作）
易於維護
高貫穿
減少化學品消耗
Vexta 步進電機
微軟視窗操作系統平台
標準配置：
2 塗佈機
2 開發人員
6 高壓氧
2 CP
4 索引器
- 晶圓尺寸可達 150mm
旋轉性能 旋轉速度：
- 外套8.000 轉/分。精度 +/- 1 rpm
- 開發最大。 8.000 轉/分。精度 +/- 1 rpm
加速度：
- 外套50.000 轉/秒
- 開發最大。 50.000 轉/秒
分配次數 COAT:
- 多達 5 個噴嘴的光刻膠
- 頂部 EBR 噴嘴
- 底部 EBR 噴嘴
分配次數 DEV：
- DEV Liquid 多達 4 個噴嘴（雙噴、雙流）
- 背面沖洗噴嘴
- 頂部沖洗噴嘴
- 開發液溫度控制（選項*）
分配方法：
- 加壓罐/泵分配
工藝食譜：
- 無限。
- 導入/導出配方
**中央隨機機械臂由智能步進伺服和步進電機處理。
**帶有高扭矩伺服電機（固定安裝）的微調器是特殊的亞微米工藝。
高溫 HPO 處理站 溫度：
- 50.0 ~ 250.0 °C，溫度均勻性 <=0.2 °C at 50.0 ~ 120.0 °C（晶圓上）
快速溫度變化：
- ΔT：50 °C <= 180 秒（上升/下降）。
烘焙方法：
- 接近
- 接觸
低溫 HPO 處理站 溫度：
- 50.0 ~ 200.0 °C，溫度均勻性 <=0.4 °C at 50.0 ~ 120.0 °C
烘焙方法：
- 接近
- 接觸
冷板加工站 溫度：
- 10.0 ~ 30.0 °C，溫度均勻性 <=0.4 °C。
酷方法：
- 接觸
