Pagandahin ang 88 system system: Coater at Developer
 Laki ng manipis: 2 pulgada hanggang 6 pulgadang manipis na manipis
 Ang application na gumagamit ng naka-embed na software na may display ng computer na Graphic User Interface (GUI)
 Tampok ang system na may isang generic nerve-networking gamit ang Ethernet
 Ang pagbibigay ng interface ng gumagamit na graphic na nagpapakita ng kasalukuyang katayuan ng buong system
 Turuan ang mode, mga calibration, at mga sangkap na pag-eehersisyo sa ehersisyo
 Ang pagbibigay ng pagganap ng proseso hanggang sa proseso ng sub-micron
 Walang limitasyong resipe na may maraming mga bagong tampok. Mataas na pagganap at mababang halaga ng pagmamay-ari.
 Pagandahin at pag-upgrade sa magagamit na panig ng customer