增強88道系統：塗佈機和顯影機
晶圓尺寸：2英寸至6英寸晶圓
使用帶有圖形用戶界面 (GUI) 計算機顯示器的嵌入式軟件的應用程序
系統具有使用以太網的通用神經網絡
提供以圖形方式顯示整個系統當前狀態的用戶界面
示教模式、校準和組件練習功能
提供高達亞微米工藝的工藝性能
具有許多新功能的無限配方。高性能和低擁有成本。
可在客戶端進行增強和升級