PCT-150 CRS הוא כלי המעיל והמפתח החדש עם גישה זרועית רובוטית אקראית ומודולים לערימה.
השילוב של בקר PLC ומחשב כולל יתרונות כפולים של אמינות, ניטור והזנת נתונים עם צג מסך מגע וממשק משתמש גרפי (GUI).
תצורה גמישה (ניתנת לשינוי על פי דרישה), לכל מיני סוגי ליתוגרפיה.
PCT-150 CRS
מסלולי כלי אשכול
זרימת תהליכים גמישה
OMRON PLC, מערכת בקר סרוו תוכננה משולבת בדיוק גבוה
זרוע רובוט מרכזית כפולה עם לשון כפולה (עצמאות תפעולית)
תחזוקה קלה
גבוה לאורך כל הדרך
צריכה כימית מופחתת
מנוע צעד וקסטה
פלטפורמת מערכת ההפעלה של Windows של מיקרוסופט
תצורה רגילה:
2 מצפה
2 מפתח
6 HPO
2 CP
4 אינדקס
- גודל רקיק עד 150 מ"מ
ביצועי ספין מהירות הסיבוב:
- מעיל מקס. 8,000 סל"ד. דיוק +/- 1 סל"ד
- מקסימום DEV 8,000 סל"ד. דיוק +/- 1 סל"ד
תאוצה:
- מעיל מקס. 50.000 סל"ד לשנייה
- מקסימום DEV 50.000 סל"ד לשנייה
מספר מחלקים COAT:
- התנגד לצילום של עד 5 חרירים
- זרבובית EBR עליונה
- זרבובית EBR תחתונה
מספר מחלקות DEV:
- DEV נוזלי עד 4 חרירים (ספריי כפול, זרם כפול)
- זרבובית לשטוף בצד האחורי
- זרבובית השטיפה העליונה
- טמפ 'נוזל התפתחות. שליטה (אפשרות *)
שיטת מחלק:
- מיכל לחץ / משאבה
מתכונים לתהליך:
- ללא הגבלה.
- מתכון ייבוא / ייצוא
** זרוע הרובוט האקראית המרכזית מטופלת על ידי סרוו צעד חכם ומנוע צעד.
** טווה עם מנוע סרוו מומנט גבוה (הרכבה קבועה) הוא תהליך תת מיקרון מיוחד.
תחנת תהליך HPO בטמפרטורה גבוהה טמפרטורה:
- 50.0 ~ 250.0 ° C, אחידות טמפרטורה <= 0.2 ° C ב 50.0 ~ 120.0 ° C (על רקיק)
שינוי מהיר בטמפרטורה:
- Î ”T: 50 ° C <= 180 שניות (רמפה למעלה / למטה).
שיטת אפייה:
- קרבה
- איש קשר
תחנת תהליך HPO בטמפרטורה נמוכה טמפרטורה:
- 50.0 ~ 200.0 ° C, אחידות טמפרטורה <= 0.4 ° C ב 50.0 ~ 120.0 ° C
שיטת אפייה:
- קרבה
- איש קשר
תחנת תהליך צ'יל פלייט טמפרטורה:
- 10.0 ~ 30.0 ° C, אחידות טמפרטורה <= 0.4 ° C.
שיטה מגניבה:
- איש קשר
