PCT-150 CRS सेंट्रल रैंडम रोबोट आर्म एक्सेस और मॉड्यूल स्टैक-अप के साथ नया कोटर और डेवलपर टूल है।
पीएलसी नियंत्रक और पीसी का संयोजन टच स्क्रीन मॉनिटर और ग्राफिकल यूजर इंटरफेस (जीयूआई) के साथ विश्वसनीयता, निगरानी और डेटा प्रविष्टि के दोहरे लाभ लेता है।
सभी प्रकार की लिथोग्राफी प्रक्रिया के लिए लचीला विन्यास (मांग पर बदला जा सकता है)।
पीसीटी-150 सीआरएस
क्लस्टर टूल ट्रैक
लचीली प्रक्रिया प्रवाह
ओमरॉन पीएलसी, सर्वो कंट्रोलर सिस्टम को उच्च परिशुद्धता के साथ एकीकृत किया गया है
दोहरी जीभ के साथ डुअल सेंट्रल रोबोट आर्म (ऑपरेशनल इंडिपेंडेंस)
आसान रखरखाव
उच्च भर
कम रासायनिक खपत
वेक्स्टा स्टेपर मोटर
माइक्रोसॉफ्ट विंडोज ओएस प्लेटफॉर्म
मानक विन्यास:
२ कोटर
2 डेवलपर
6 एचपीओ
2 सीपी
4 अनुक्रमणिका
- 150mm . तक वेफर आकार
स्पिन प्रदर्शन चक्रण की गति:
- कोट मैक्स। 8.000 आरपीएम। शुद्धता +/- 1 आरपीएम
- देव मैक्स। 8.000 आरपीएम। शुद्धता +/- 1 आरपीएम
त्वरण:
- कोट मैक्स। ५०,००० आरपीएम/सेकंड
- देव मैक्स। ५०,००० आरपीएम/सेकंड
कोट की संख्या:
- 5 नोजल तक फोटो-प्रतिरोध
- शीर्ष ईबीआर नोजल
- निचला ईबीआर नोजल
वितरण की संख्या देव:
- DEV लिक्विड 4 नोजल तक (डुअल स्प्रे, डुअल स्ट्रीम)
- बैक साइड रिंस नोजल
- शीर्ष कुल्ला नोक
- देव द्रव अस्थायी। नियंत्रण (विकल्प*)
वितरण विधि:
- प्रेशराइज्ड कनस्तर/पंप डिस्पेंस
प्रक्रिया व्यंजनों:
- असीमित।
- आयात/निर्यात पकाने की विधि
**सेंट्रल रैंडम रोबोट आर्म को स्मार्ट स्टेप सर्वो और स्टेपर मोटर द्वारा नियंत्रित किया जाता है।
**उच्च टोक़ सर्वो मोटर (फिक्स्ड माउंटिंग) के साथ स्पिनर विशेष उप-माइक्रोन प्रक्रिया है।
उच्च तापमान एचपीओ प्रक्रिया स्टेशन तापमान:
- 50.0 ~ 250.0 डिग्री सेल्सियस, तापमान एकरूपता <= 0.2 डिग्री सेल्सियस 50.0 ~ 120.0 डिग्री सेल्सियस (वेफर पर)
तेजी से तापमान परिवर्तन:
- ” टी: ५० डिग्री सेल्सियस <= १८० सेकंड (रैंप अप/डाउन)।
सेंकना विधि:
- निकटता
- संपर्क करें
कम तापमान एचपीओ प्रक्रिया स्टेशन तापमान:
- 50.0 ~ 200.0 डिग्री सेल्सियस, तापमान एकरूपता <= 0.4 डिग्री सेल्सियस 50.0 ~ 120.0 डिग्री सेल्सियस पर
सेंकना विधि:
- निकटता
- संपर्क करें
चिल प्लेट प्रोसेस स्टेशन तापमान:
- 10.0 ~ 30.0 डिग्री सेल्सियस, तापमान एकरूपता <=0.4 डिग्री सेल्सियस।
शांत विधि:
- संपर्क करें
