86および88のコーターおよび開発者向けに拡張

50mm、100mm、150mmのプラットフォームウェーハサイズで設計

アプリケーションはプログラマブルロジックコントロール（PLC）を使用します。コンピューターディスプレイにグラフィックユーザーインターフェイス（GUI）を使用して表示する

ロボットアーム転送またはベルト転送

システム全体の現在のステータスをグラフィカルに表示するユーザーインターフェイスを提供する

ティーチモード、キャリブレーション、およびコンポーネントのエクササイズ機能

無制限のアームプログラム

無制限のレシピストレージ容量

ウェーハを保護し、プロセスをサポートし、維持をサポートする新機能

高性能と低所有コスト

利用可能な顧客側の拡張とアップグレード