Sistem trek linier: Coater dan Developer

Direka pada platform wafer 150mm-200mm

Aplikasi menggunakan perisian tertanam dengan Antaramuka Pengguna Grafik (GUI).

Sistem ditampilkan dengan jaringan saraf generik menggunakan Ethernet.

Menyediakan antara muka pengguna yang secara grafik menunjukkan status terkini keseluruhan sistem.

Mod latihan, Kalibrasi, dan Komponen menjalankan fungsi

Memberikan prestasi proses hingga proses sub-mikron.

Prestasi tinggi dan kos pemilikan yang rendah

Tingkatkan dan tingkatkan di sisi pelanggan