PCT-150 CRSは、中央ランダムロボットアームアクセスとモジュールスタックアップを備えた新しいコーターおよび開発者ツールです。
PLCコントローラーとPCの組み合わせは、タッチスクリーンモニターとグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）による信頼性、監視、データ入力の2つの利点を活用します。
あらゆる種類のリソグラフィプロセスに対応する柔軟な構成（必要に応じて変更可能）。
PCT-150 CRS
SKU： 364215375135191
$0.00価格
クラスターツールトラック
柔軟なプロセスフロー
オムロンPLC、サーボコントローラシステムは高精度で統合されて設計されています
デュアルタング付きデュアルセントラルロボットアーム（操作上の独立性）
メンテナンスが簡単
全体的に高い
化学物質の消費量の削減
Vextaステッピングモーター
Microsoft WindowsOSプラットフォーム
標準構成：
2コーター
2開発者
6 HPO
2 CP
4インデクサ
- 150mmまでのウェーハサイズ
スピンパフォーマンス 回る速さ：
- コート最大8.000rpm。精度+/- 1 rpm
- DEVMax。 8.000rpm。精度+/- 1 rpm
加速度：
- コート最大50.000rpm /秒
- DEVMax。 50.000rpm /秒
ディスペンス数COAT：
- 最大5ノズルのフォトレジスト
- トップEBRノズル
- 下部EBRノズル
ディスペンス数DEV：
- 最大4ノズルのDEV液体（デュアルスプレー、デュアルストリーム）
- 裏面リンスノズル
- トップリンスノズル
- 開発流体温度コントロール（オプション*）
ディスペンス方法：
- 加圧キャニスター/ポンプディスペンス
プロセスレシピ：
- 無制限。
- レシピのインポート/エクスポート
**中央ランダムロボットアームは、スマートステップサーボとステッピングモーターによって処理されます。
**高トルクサーボモーター（固定取り付け）を備えたスピナーは、特別なサブミクロンプロセスです。
高温HPOプロセスステーション 温度：
- 50.0〜250.0°C、温度均一性<= 0.2°C、50.0〜120.0°C（ウェーハ上）
急激な温度変化：
- Δ T：50°C <= 180秒（ランプアップ/ダウン）。
焼き方：
- 近接性
- 連絡先
低温HPOプロセスステーション 温度：
- 50.0〜200.0°C、温度均一性<= 0.4°C、50.0〜120.0°C
焼き方：
- 近接性
- 連絡先
チルプレートプロセスステーション 温度：
- 10.0〜30.0°C、温度均一性<= 0.4°C。
クールな方法：
- 連絡先
