PCT-150 CRS는 Central Random Robot arm 액세스 및 모듈 스택 업 기능이있는 새로운 Coater 및 Developer 도구입니다.
PLC 컨트롤러와 PC의 조합은 터치 스크린 모니터 및 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI)를 통한 신뢰성, 모니터링 및 데이터 입력이라는 두 가지 이점을 제공합니다.
모든 종류의 리소그래피 공정을위한 유연한 구성 (요청시 변경 가능).
PCT-150 CRS
SKU: 364215375135191
$0.00가격
클러스터 도구 트랙
유연한 프로세스 흐름
OMRON PLC, Servo Controller 시스템은 고정밀로 통합 설계되었습니다.
이중 텅이있는 이중 중앙 로봇 암 (작동 독립)
손쉬운 유지 보수
전반적으로 높은
화학 물질 소비 감소
Vexta 스테퍼 모터
Microsoft Windows OS 플랫폼
표준 구성 :
2 코터
2 개발자
6 HPO
2 CP
4 인덱서
- 150mm까지 웨이퍼 크기
스핀 성능 회전 속도:
- 코트 맥스. 8.000rpm. 정확도 +/- 1 rpm
- DEV 최대. 8.000rpm. 정확도 +/- 1 rpm
가속:
- 코트 맥스. 50.000 rpm / 초
- DEV 최대. 50.000 rpm / 초
COAT 디스펜스 수 :
- 최대 5 개 노즐의 포토 레지스트
- 상단 EBR 노즐
- 하단 EBR 노즐
디스펜스 DEV 수 :
- DEV Liquid 최대 4 개 노즐 (듀얼 스프레이, 듀얼 스트림)
- 뒷면 린스 노즐
- 탑 린스 노즐
- Dev 유체 온도. 제어 (옵션 *)
분배 방법 :
- 가압 캐니스터 / 펌프 분배
공정 레시피 :
- 제한 없는.
- 레시피 가져 오기 / 내보내기
** 중앙 랜덤 로봇 암은 스마트 스텝 서보와 스테퍼 모터로 처리됩니다.
** 고 토크 서보 모터가 장착 된 스피너 (고정 장착)는 특수 서브 미크론 공정입니다.
고온 HPO 공정 스테이션 온도:
- 50.0 ~ 250.0 ° C, 온도 균일 성 <= 0.2 ° C, 50.0 ~ 120.0 ° C (웨이퍼에서)
급속한 온도 변화 :
- ΔT : 50 ° C <= 180 초 (램프 업 / 다운).
베이킹 방법 :
- 근접
- 접촉
저온 HPO 공정 스테이션 온도:
- 50.0 ~ 200.0 ° C, 온도 균일 성 <= 0.4 ° C, 50.0 ~ 120.0 ° C
베이킹 방법 :
- 근접
- 접촉
칠 플레이트 공정 스테이션 온도:
- 10.0 ~ 30.0 ° C, 온도 균일 성 <= 0.4 ° C.
멋진 방법 :
- 접촉
