88トラックシステムの強化：コーターと開発者
ウェーハサイズ：2インチから6インチのウェーハ
グラフィックユーザーインターフェイス（GUI）コンピューターディスプレイを備えた組み込みソフトウェアを使用するアプリケーション
イーサネットを使用した一般的な神経ネットワークを備えたシステム
システム全体の現在のステータスをグラフィカルに表示するユーザーインターフェイスを提供する
ティーチモード、キャリブレーション、およびコンポーネントのエクササイズ機能
サブミクロンプロセスまでのプロセス性能を提供
多くの新機能を備えた無制限のレシピ。高性能と低所有コスト。
利用可能な顧客側の拡張とアップグレード