88 트랙 시스템 향상 : Coater 및 Developer
 웨이퍼 크기 : 2 인치 ~ 6 인치 웨이퍼
 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 컴퓨터 디스플레이가있는 임베디드 소프트웨어를 사용하는 애플리케이션
 이더넷을 사용하는 일반적인 신경 네트워킹 기능이있는 시스템
 전체 시스템의 현재 상태를 그래픽으로 보여주는 사용자 인터페이스 제공
 교육 모드, 보정 및 구성 요소 운동 기능
 미크론 이하 공정까지 공정 성능 제공
 많은 새로운 기능을 가진 무제한 레시피. 고성능 및 낮은 소유 비용.
 고객 측에서 향상 및 업그레이드 가능