Tingkatkan sistem trek 88: Coater dan Developer
 Saiz wafer: wafer 2 inci hingga 6 inci
 Aplikasi menggunakan perisian tertanam dengan paparan komputer antara muka pengguna grafik (GUI)
 Sistem ditampilkan dengan jaringan saraf generik menggunakan Ethernet
 Menyediakan antara muka pengguna yang secara grafik menunjukkan status terkini keseluruhan sistem
 Mod pengajaran, penentukuran, dan komponen menjalankan fungsi
 Memberikan prestasi proses hingga proses sub-mikron
 Resipi tanpa had dengan banyak ciri baru. Prestasi tinggi dan kos pemilikan yang rendah.
 Tingkatkan dan tingkatkan di sisi pelanggan