PCT 100 RRE est l'outil de photolithographie basé sur Random Robot Enhancement. Comme son nom l'indique, cette série de produits peut désormais offrir à ses clients le débit le plus élevé avec l'extraordinaire rapidité et haute précision du bras robotique. Étant conçu avec un rangement attrayant, le PCT-100 RRE présente un encombrement minimal et est coûteux.

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Les modules de spin peuvent s'adapter à presque tous les procédés de photolithographie comme LED, MEMs, ICs, .... Avec la haute précision et l'accélération élevée du servomoteur de spin; par conséquent, une uniformité parfaite et une épaisseur souhaitée peuvent être obtenues facilement sur la plaquette.

Les modules de température contrôlés par un contrôleur de température PID adoptent une excellente uniformité sur la surface du mandrin.

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Ses contrôleurs sont combinés entre PC et PLC, ce qui permet à la machine de fonctionner de manière continue et fiable. Les appareils IHM sont basés sur un PC, l'interface utilisateur est donc conviviale et facile à utiliser. Tous les mouvements peuvent être appris et sauvegardés en mémoire en mode maintenance.