PCT 100 RRE è lo strumento di fotolitografia basato su Random Robot Enhancement. Come suggerisce il nome, questa serie di prodotti ora può offrire ai propri clienti la massima produttività con la straordinaria velocità e l'alta precisione del braccio robotico. Essendo progettato con un aspetto ordinato, PCT-100 RRE ha un ingombro minimo ed è costoso.

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I moduli di spin possono adattarsi a quasi i processi di fotolitografia come LED, MEM, IC, .... Con l'alta precisione e l'elevata accelerazione del servomotore di spin; quindi, una perfetta uniformità e uno spessore desiderato possono essere facilmente raggiunti sul wafer.

I moduli di temperatura controllati da un controller di temperatura PID adottano un'eccellente uniformità sulla superficie del mandrino.

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I suoi controller sono combinati tra PC e PLC che fanno funzionare la macchina in modo continuo e affidabile. I dispositivi HMI sono basati su PC, quindi l'interfaccia utente è amichevole e facile da usare. Tutti i movimenti possono essere appresi e salvati in memoria in modalità manutenzione.