Miglioramento per 86 e 88 Coater e Developer

Progettato su wafer con piattaforma da 50 mm, 100 mm, 150 mm

L'applicazione utilizza il controllo logico programmabile (PLC). Display con interfaccia grafica utente (GUI) sul display del computer

Trasferimento del braccio robotico o trasferimento a cinghia

Fornire un'interfaccia utente che mostra graficamente lo stato corrente dell'intero sistema

Modalità di apprendimento, calibrazioni e funzioni di esercizio dei componenti

Programma di braccia illimitato

Capacità di memorizzazione delle ricette illimitata

Nuove funzionalità per proteggere i wafer, supportare il processo e supportare la manutenzione

Alte prestazioni e basso costo di proprietà

Miglioramenti e aggiornamenti disponibili sul lato cliente