Système de voie linéaire : coucheur et développeur

Conçu sur une taille de plaquette de plate-forme de 150 mm à 200 mm

Application utilisant un logiciel embarqué avec interface utilisateur graphique (GUI).

Système doté d'un réseau nerveux générique utilisant Ethernet.

Fournir une interface utilisateur qui montre graphiquement l'état actuel de l'ensemble du système.

Fonctions d'exercice du mode d'apprentissage, des étalonnages et des composants

Fournir des performances de processus jusqu'à un processus submicronique.

Hautes performances et faible coût de possession

Améliorer et mettre à niveau côté client disponible