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PCT-200

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CIRCA PCT-200

  • Sistema di binari lineari: Coater e Developer

  • Progettato su dimensioni del wafer della piattaforma da 150 mm a 200 mm

  • Applicazione che utilizza software integrato con interfaccia grafica utente (GUI).

  • Sistema caratterizzato da una rete nervosa generica tramite Ethernet.

  • Fornire un'interfaccia utente che mostra graficamente lo stato corrente dell'intero sistema.

  • Modalità di apprendimento, calibrazioni e funzioni di esercizio dei componenti

  • Fornire prestazioni di processo fino al processo sub-micron.

  • Alte prestazioni e basso costo di proprietà

  • Miglioramenti e aggiornamenti disponibili sul lato cliente

+1 (408) 988-7000

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