Migliora il sistema di binari 88: Coater e Developer
 Dimensioni del wafer: wafer da 2 pollici a 6 pollici
 Applicazione che utilizza software integrato con display del computer con interfaccia grafica utente (GUI)
 Sistema caratterizzato da una rete nervosa generica tramite Ethernet
 Fornire un'interfaccia utente che mostra graficamente lo stato corrente dell'intero sistema
 Modalità di apprendimento, calibrazioni e funzioni di esercizio dei componenti
 Fornire prestazioni di processo fino a processi inferiori al micron
 Ricetta illimitata con molte nuove funzionalità. Alte prestazioni e basso costo di proprietà.
 Miglioramenti e aggiornamenti disponibili sul lato cliente